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エステック マスフローコントローラ SEC-E40MK3 [93167440]

エステック マスフローコントローラ SEC-E40MK3 [93167440]

販売価格: 116,180円(税込)

在庫数 9枚
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商品詳細

【画像はイメージです】
【納期について】本商品の納期は都度確認が必要な製品となっております。
長納期となる場合がございますので、ご注文前にお問い合わせください。
お問合せがなく、発送に7営業日以上の納期がかかる場合は、別途ご相談のメールを送信させていただきます。


■マスフローコントローラ SEC-E40MK3の特長

  • 対応ガス種：非腐食性ガス(N2 O2 Air H2 Ar Heに対応)
  • フルスケール流量(N2)：10SCCM～10SLM
  • 流量制御範囲：2～100％F.S.
  • 流量制度：±1％F.S.
  • 使用環境温度：5～50℃(精度保証15～35℃)
  • 応答性：1秒以内(T98)
  • 動作差圧：50～300kPa(10SCCM～5SLM)(d) 100～300kPa(10～30SLM)(d)
  • 外部リークレート：1×10-10Pa・m3/s(He)以下
  • 流量設定信号：0.1～5VDC/2～100％F.S.
  • 流量出力信号：0～5VDC(0～100%F.S.)
  • 駆動電源：+15VDC ±5％ 50mA －15VDC ±5％ 150mA(3VA)
  • 接ガス部材質：SUS316 フッ素ゴム PTFE 磁性ステンレス
  • 標準継手：1/4Swagelok VCR

※専用電源ユニット 接続ケーブル別売です

※E40MK3は ガス種限定モデル(N2 O2 Air H2 Ar Heに対応)です

※注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を指定下さい

【画像はイメージです】
【納期について】本商品の納期は都度確認が必要な製品となっております。
長納期となる場合がございますので、ご注文前にお問い合わせください。
お問合せがなく、発送に7営業日以上の納期がかかる場合は、別途ご相談のメールを送信させていただきます。


■マスフローコントローラ SEC-E40MK3の特長

  • 対応ガス種：非腐食性ガス(N2 O2 Air H2 Ar Heに対応)
  • フルスケール流量(N2)：10SCCM～10SLM
  • 流量制御範囲：2～100％F.S.
  • 流量制度：±1％F.S.
  • 使用環境温度：5～50℃(精度保証15～35℃)
  • 応答性：1秒以内(T98)
  • 動作差圧：50～300kPa(10SCCM～5SLM)(d) 100～300kPa(10～30SLM)(d)
  • 外部リークレート：1×10-10Pa・m3/s(He)以下
  • 流量設定信号：0.1～5VDC/2～100％F.S.
  • 流量出力信号：0～5VDC(0～100%F.S.)
  • 駆動電源：+15VDC ±5％ 50mA －15VDC ±5％ 150mA(3VA)
  • 接ガス部材質：SUS316 フッ素ゴム PTFE 磁性ステンレス
  • 標準継手：1/4Swagelok VCR

※専用電源ユニット 接続ケーブル別売です

※E40MK3は ガス種限定モデル(N2 O2 Air H2 Ar Heに対応)です

※注文時にガス種・流量レンジ・接続継手を指定下さい


エステック マスフローコントローラ SEC-E40MK3


【在庫数について】

商品ページに表示されている在庫数は通販サイト上の在庫数となります。各店舗の在庫数とは異なりますのでご注意ください。

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